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  OZUMA
   
非接触式厚さ測定装置

エアー背圧を利用して1インチ〜12インチφまでの測定が可能

 
  ひせっしょ君
   
非接触ハンドリング
直接モノに触れることなく 自由に移動することができます。

 
  製品案内
   
これまでに納入した当社の製品を写真を参考にご説明します。

 
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OZUMA22
   高精度非接触式厚さ測定装置


用 途 OZUMA21PS
半導体ウェハー(各種材料)・ガラス・金属などの厚さ測定
  OZUMA22

特 徴
  1. エアー背圧方式:非接触測定なのでキズ・コンタミなどのダメージを与えない
  2. 膜付・色艶などの材質依存がない:簡単に高精度測定が可能
  3. 水濡れ状態での測定が可能
  4. 鏡面・透明・半透明でも問題なく測定可能
  5. 上下の測定ノズルで測定:被測定物の”そり”による浮き上がりに影響されにくく、”厚さ”を正確に測定できます
(オプションて”ソリ”測定も可*1
  6. 操作が簡単:測定や校正*2が非常に簡単に行えます

運用上の長所
  測定対象物を上下の測定プローグで挟み込む方式により、対象物にソリ等あっても影響の少ない測定が可能。
  オプッションでソリ測定も可能。
  測定対象部の厚さ変更時も、ノンキャリブレーションによる連続測定が可能。
  簡便な操作性
  省スペース
  高精度
     
測定原理      

性 能  
  分解能    : 0.1μm
  繰返し精度 : 10回繰返し連続測定時の標準偏差(1δ)0.3μm以下
  測定範囲  : max.10mm*3
  供給エネルギー: 電源AC10V 50/60Hz 3A
            クリーンエアー 0.4MPa 20NL/min*4
    *1  そり測定:そり程度やワーク剛性により測定できない場合がありますので詳細は
    お問い合わせください
    *2 校正:市販のブロックゲージも使用できます
    *3 測定範囲:標準機はmax10mm。オプションで10mm以上も可
    (但し測定動作範囲は、10mmです)
    *4 クリーンエアーは直接被測定物に吹き上がりますので、品質には留意ください
   
仕 様  
    概観図
      300mmウエハーY軸手動テーブル搭載図
      外観図
       
      別置き制御BOXサイズ W400×H500×D250
       
   
標準機基本構成
       
  @ 測定装置本体  ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
  A 測定テーブル(載物台)・・・下記のテーブル一覧表から選択・・・ 1式
  B 制御BOX(別置き型) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
  C 手元操作スイッチBOX ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
  D 表示器:7”カラー液晶タッチパネル ・・・・・・・・・・・・・・・・・
  または計測制御用パソコン
1式
  E 接続ケーブル類 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
  F 校正ゲージ(厚さご指定) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
  G 計測制御用標準ソフト ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ 1式
       
    非接触厚さ測定装置OZUMA22は、上記セット構成のほか、用途に応じて標準機用テーブル一覧表&オプ
ションの中から選択が可能です。
 
       
     
     

標準機用テーブル一覧表

       
      オプション
       
       
 OZUMA22 型式表記
     
    OZUMA22−テーブル型式−オプション型式−オプション型式−・・・
     
    (例) OZUMA22-TMY5-A-VN-FM
       
      型式解釈→3〜5”用アルミ材手動Yテーブルが搭載されたOZUMA22で、
ユーザー指定フォーマット表示・吸着機構付きのもの
       
       
 その他特殊仕様
     
    上記のほか、特殊仕様を希望される場合は、メーカーに問い合わせください
     
       
       
       
  仕様・外観を予告なしに変更する場合があります。
     
     
     
    お問い合わせはこちらまで




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