Technical knowledge & Mechatronics
非接触式厚さ測定装置
エアー背圧を利用して1インチ〜12インチφまでの測定が可能
非接触ハンドリング
直接モノに触れることなく 自由に移動することができます。
これまでに納入した当社の製品を写真を参考にご説明します。
OZUMA22
高精度非接触式厚さ測定装置
用 途
半導体ウェハー(各種材料)・ガラス・金属などの厚さ測定
OZUMA22
特 徴
1.
エアー背圧方式
:非接触測定なのでキズ・コンタミなどのダメージを与えない
2.
膜付・色艶などの材質依存がない
:簡単に高精度測定が可能
3.
水濡れ状態での測定が可能
4.
鏡面・透明・半透明でも問題なく測定可能
5.
上下の測定ノズルで測定
:被測定物の”そり”による浮き上がりに影響されにくく、”厚さ”を正確に測定できます
(オプションて”ソリ”測定も可
*1
)
6.
操作が簡単
:測定や校正
*2
が非常に簡単に行えます
運用上の長所
測定対象物を上下の測定プローグで挟み込む方式により、対象物にソリ等あっても影響の少ない測定が可能。
オプッションでソリ測定も可能。
測定対象部の厚さ変更時も、ノンキャリブレーションによる連続測定が可能。
簡便な操作性
省スペース
高精度
測定原理
性 能
分解能 : 0.1μm
繰返し精度 : 10回繰返し連続測定時の標準偏差(1δ)0.3
μm
以下
測定範囲 : max.10mm
*3
供給エネルギー: 電源AC10V 50/60Hz 3A
クリーンエアー 0.4MPa 20NL/min
*4
*1
そり測定:そり程度やワーク剛性により測定できない場合がありますので詳細は
お問い合わせください
*2
校正:市販のブロックゲージも使用できます
*3
測定範囲:標準機はmax10mm。オプションで10mm以上も可
(但し測定動作範囲は、10mmです)
*4
クリーンエアーは直接被測定物に吹き上がりますので、品質には留意ください
仕 様
概観図
300mmウエハーY軸手動テーブル搭載図
別置き制御BOXサイズ W400×H500×D250
標準機基本構成
@
測定装置本体 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
1式
A
測定テーブル(載物台)・・・
下記のテーブル一覧表から選択・・・
1式
B
制御BOX(別置き型) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
1式
C
手元操作スイッチBOX ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
1式
D
表示器:7”カラー液晶タッチパネル ・・・・・・・・・・・・・・・・・
または計測制御用パソコン
1式
E
接続ケーブル類 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
1式
F
校正ゲージ(厚さご指定) ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
1式
G
計測制御用標準ソフト ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
1式
非接触厚さ測定装置OZUMA22は、上記セット構成のほか、用途に応じて
標準機用テーブル一覧表&オプ
ション
の中から選択が可能です。
標準機用テーブル一覧表
オプション
OZUMA22 型式表記
OZUMA22−テーブル型式−オプション型式−オプション型式−・・・
(例)
OZUMA22-TMY5-A-VN-FM
型式解釈→3〜5”用アルミ材手動Yテーブルが搭載されたOZUMA22で、
ユーザー指定フォーマット表示・吸着機構付きのもの
その他特殊仕様
上記のほか、特殊仕様を希望される場合は、メーカーに問い合わせください
●
仕様・外観を予告なしに変更する場合があります。
お問い合わせはこちらまで
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