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非接触式厚さ測定装置

エアー背圧を利用して1インチ〜12インチφまでの測定が可能

 
  ひせっしょ君
   
非接触ハンドリング
直接モノに触れることなく 自由に移動することができます。

 
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これまでに納入した当社の製品を写真を参考にご説明します。

 
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非せっしょ君 
         非接触ハンドリング  

以下の問題を解決します
  ・超薄物ウェハーの取り扱い
  ・ウェハー表面のパーティクル
  ・クロスコンタミネーション
  ・ウェハーの破損やキズ

ひせっしょ君の優位点
 ・非接触で保持する
 ・低価格である
 ・保持力が強い
 ・消費流量が少ない
 ・周辺機器とのシステムアップ対応

  

標準のサイズ

  0.25",0.1",2",3",4",5",8",12" の他特殊形状カスタム対応可能




移動の原理図



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