以下の問題を解決します ・超薄物ウェハーの取り扱い ・ウェハー表面のパーティクル ・クロスコンタミネーション ・ウェハーの破損やキズ
ひせっしょ君の優位点 ・非接触で保持する ・低価格である ・保持力が強い ・消費流量が少ない ・周辺機器とのシステムアップ対応